精密可編程勻膠機

產品介紹：

名    稱：精密可編程勻膠機

型    號：HC150PE

應    用：精密可編程勻膠機在高速旋轉的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同，也和旋轉速度及時間有關。

產品概述：

精密可編程勻膠機，采用分體式結構設計，高分子HDPE耐腐蝕內腔，4.3英寸觸摸屏，工業級直流電機及高級PLC控制，直觀清晰的程序界面與設計，美觀大方。適合涂膠處理? 5~150mm圓晶尺寸基片。
　　該勻膠機結構緊湊、簡單易用，可編程實現單步旋涂和多步編程旋涂，尺寸小巧，可放入手套箱內操作。HDPE高分子材料旋涂內腔，美觀耐腐蝕，經久耐用。

性能參數：

• 適用晶元尺寸范圍：? 5~150mm；

• 旋涂速度：100~12000rpm；

• 轉速分辨率：1rpm；

• 旋涂加速度：100-30000rpm/s；

• 最大旋涂時間：3000s；

• 旋涂時間精度：0.1s；

• 內腔直徑212mm，內腔采用凹面防濺設計；

• 具備單步快速旋涂和多步編程旋涂，可編程100組程序，每組程序10步；

• 電源輸入：AC200-230

產品特點：

• 設計緊湊，可輕松放置在手套箱內使用；

• HDPE高分子材料旋涂內腔，耐腐蝕；

• 采用分體式結構，易清潔和移動；

• 4.3英寸彩色觸屏控制，易學易用；

• 精確設置實驗參數，運行狀態實時顯示；

• 經CNC一體加工成型的HDPE內腔，內腔壁采用凹面設計，有效防濺；

•  采用高級PLC程序控制，可編程，實現快速旋涂和多步編程旋涂；

• 具有電機進膠保護功能；管路易疏通設計；

• 具有真空不足提示及保護功能，具有斷電后參數自動保存功能。

•  可設置用戶密碼保護功能；

•  帶真空度安全互鎖檢測功能；

• 帶一路自動點膠接口，可升級自動點膠系統；

                             HDPE高分子耐腐蝕內腔

              不同尺寸的載物盤

產品外型尺寸：
　   310mm(D)*254mm(W)*250mm(H)